XRD小角度检测实验室 半导体单晶XRD靠谱

XRD小角度检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

关于试片平面的准备

一般讲，尺寸细且均匀，颗粒成球状，性质比较稳定的粉末样品是比较理想的。

关于压制样品：一般的粉末样品好能够盖满整个样品槽，较少的时候沿着与光源垂直的方向成一个线状分布也可以，压的时候不要用太大力气，对于一些粘性比较大的样品可以先蒙上一张称量纸，上面用玻璃片轻轻压平，然后将称量纸轻轻取下来即可。

需要注意的问题：对于同一系列的样品，如果力道差别很大，就会引起样品密度的变化，从而会使衍射的强度受到影响。

关于试片的厚度

X射线的穿透能力很强，一般在10μm~20μm的数量级。所以必须考虑试样的厚度

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x射线应力测定法优点和实际应用

优点

x射线应力测定法可以无损地测量构件中的应力或残余应力，特别适宜于测量薄层和裂纹的应力分布。是检验产品质量，研究材料强度，选用较佳工艺的一种重要手段。

实际应用测量

测定应力时，通常只要测量4～5个具有不同入射角（一般取0°、15°、30°45°、60°）的X射线的衍射角，作出 曲线，用Z小二乘法求出斜率，就可确定 。这就是用X射线测定应力的基本方法—— 法，其精度较高。此外，还有0°-45°法、单一倾斜法等。

曾经先后采用过照相法（由底片记录衍射环半径）和计数管法（由计数管记录衍射角，见图3），接收、记录X射线的衍射，如用电子计数器记录宽大衍射条纹的峰值强度位置时，可采用较的法和常用的半高法等。

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在做单晶X射线衍射（单晶XRD）测试时，此法用射线计数仪直接记录射线的强度。单晶衍射仪有线性衍射仪、四圆衍射仪和韦森堡衍射仪等，其中以四圆衍射仪，为通用。所谓四圆是指晶体和计数器藉以调节方位的四个圆，分别称为φ圆、圆、w圆和2θ圆。φ圆是安装晶体的测角头转动的圆；圆是支撑测角头的垂直圆，测角头可在此圆上运动；w圆是使圆绕垂直轴转动的圆，2θ圆与w圆共轴，计数器绕着这个轴转动。这四个圆中，w圆、φ圆和圆用于调节晶体的取向，使某一的晶面满足衍射条件，山西XRD小角度检测，同时调节2θ圆，使衍射线进入计数器中。通常，XRD小角度检测服务，四圆衍射仪配用电子计算机自动控制和记录，可以测定晶格参数，并将衍射点的强度数据依次自动收集，简化了实验过程，而且大大提高了数据的度。因此，它已成为当前晶体结构分析中强有力的工具。

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